現(xiàn)在基本的家居智能傳感器集成傳感器，集成傳感器是一種半導(dǎo)體敏感元件，在芯片上制作測(cè)量處理電路，利用集成電路技術(shù)，使用成本低廉的小傳感器。

 

    與集成電路技術(shù)和微機(jī)械加工方法的使用，機(jī)械和電氣部件的各種物理效應(yīng)和基于集成在一個(gè)芯片處理電路敏感，使微機(jī)電系統(tǒng)（Micro－Electro－MechanicalSystems，MEMS）傳感器。

 

    智能家居必須理解傳感器與MEMS的集成

 

    傳感器的傳感結(jié)構(gòu)可以是微米或亞微米的，可以批量生產(chǎn)。它具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、成本低等優(yōu)點(diǎn)。

 

 

    中國(guó)的MEMS產(chǎn)業(yè)處于世界領(lǐng)先地位，包括美國(guó)Mars的火車(chē)已經(jīng)發(fā)明了我們中國(guó)的傳感器，如MEMS加速度計(jì)和壓力傳感器已廣泛應(yīng)用于汽車(chē)工業(yè)，作為智能家居的一個(gè)以上的傳感器提供一個(gè)典型的應(yīng)用是MEMS。

 

    MEMS不僅依賴(lài)于電子技術(shù)，還依賴(lài)于機(jī)械加工技術(shù)。

 

    智能家居必須理解傳感器與MEMS的集成

 

    集成電路技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)等新技術(shù)和新技術(shù)的發(fā)展為傳感器的集成化和小型化提供了可能性。微細(xì)加工技術(shù)制成的微米尺寸的敏感元件，利用各向異性刻蝕，犧牲層技術(shù)和LIGA技術(shù)（如光刻、電鑄和注塑成型），可以創(chuàng)建一個(gè)三層的微觀結(jié)構(gòu)有很大的差異，包括移動(dòng)的隔膜、懸臂梁、橋、槽、孔、錐。

 

    采用靈敏的結(jié)構(gòu)和檢測(cè)電路的單片集成技術(shù)，避免了引線(xiàn)芯片在多芯片組件中引入的寄生效應(yīng)，提高了器件的性能，提高了抗干擾能力。微電子和微傳感器的微機(jī)械加工技術(shù)產(chǎn)生的包裝系統(tǒng)的使用，與傳統(tǒng)的傳感器相比，具有體積小、重量輕、成本低的優(yōu)點(diǎn)，功耗低，可靠性高，適用于大批量生產(chǎn)，該智能功能，易于集成和實(shí)現(xiàn)，在智能家居有決定系統(tǒng)的一部分。